بر اساس گزارش ها، شرکت تولید کننده تجهیزات نیمه هادی داخلی Zhongsheng Optoelectronics Equipment (Shanghai) (از این پس "Zhongsheng Optoelectronics" نامیده می شود) فناوری و مدل های جدید MOCVD را برای کاربردهای LED عمیق فرابنفش راه اندازی کرده است که هزینه های تجهیزات را کاهش می دهد و ظرفیت تولید را افزایش می دهد. .
بر اساس داده ها، Zhongsheng Optoelectronics در ماه می 2011 تاسیس شد و دفتر مرکزی آن در Zhangjiang High-Tech Park، Pudong، شانگهای قرار دارد. این شرکت بر تحقیق و توسعه و تولید تجهیزات MOCVD برای ساخت قطعات نیمه هادی LED و نسل دوم/سوم تمرکز دارد. این یکی از معدود فناوری های اصلی مستقل داخلی است. یکی از بزرگترین شرکت های تولید کننده MOCVD. علاوه بر این، طبق گزارش People's Daily Online، Zhongsheng Optoelectronics و China Microelectronics زمانی انحصار طولانی مدت Aixtron آلمان و Veeco آمریکایی را در بازار چین در زمینه روشنایی LED شکستند.
از سال 2016 تا 2017، Zhongsheng Optoelectronics و Jetson Semiconductor، تولید کننده داخلی LED عمیق ماوراء بنفش، به طور مشترک اولین تجهیزات MOCVD ماوراء بنفش عمیق در چین - ProMaxy® UV را توسعه و صنعتی کردند که به ظرفیت تحقیق و توسعه و تولید LED عمیق ماوراء بنفش تبدیل شده است. تکنولوژی از سال 2020. یکی از مدل های اصلی گسترش. اخیراً، شبکه صنعت نیمه هادی گزارش داد که Zhongsheng Optoelectronics پیشرفت های جدیدی در تجهیزات MOCVD اشعه ماوراء بنفش عمیق ایجاد کرده است.
گزارش شده است که با گسترش مداوم و ترویج کاربردهای LED عمیق ماوراء بنفش، بازار الزامات بالاتری را برای راندمان تبدیل توان، عملکرد و هزینه تولید محصولات LED ماوراء بنفش عمیق مطرح کرده است. از منظر اپیتاکسی، کیفیت کریستال مواد، ویژگیهای مورفولوژی سطح و کنترل ترک رشد همپایه AlN (نیتروژن آلومینیوم) برای LEDهای فرابنفش عمیق تأثیر قابلتوجهی بر بهبود راندمان تبدیل توان و بازده دارد و تجهیزات MOCVD به عنوان فناوری اپیتاکسی استفاده میشود. تجهیزات اصلی نیز برای برآوردن نیازهای بالاتر نیاز به ارتقا دارند.
برای این منظور، بر اساس فناوری اصلی نوآوری مستقل ProMaxy® UV، Zhongsheng Optoelectronics کنترل میدان دمای محفظه واکنش، انتقال و توزیع یکنواخت گاز واکنش و سایر فناوریها را نوآوری و بهینهسازی کرد و کیفیت بالایی را ایجاد کرد. AlN که می تواند به صورت اپیتاکسی تولید شود. فناوری هسته جدید MOCVD که می تواند ظرفیت تولید را افزایش دهد (حداقل 15x2) و هزینه های تولید را کاهش دهد.
در همان زمان، به منظور کاهش بیشتر هزینه های تجهیزات و افزایش ظرفیت تولید، Zhongsheng Optoelectronics همچنین یک مدل ProMaxy® UV را راه اندازی کرد که می تواند با 4 محفظه واکنش پیکربندی شود. این مدل نه تنها میتواند ساختار کامل LEDهای فرابنفش عمیق را در هر حفره به صورت همبسته تولید کند، بلکه میتواند تولید همبستگی زیرلایههای AlN و ساختارهای LED را در حفرههای جداگانه ادغام کند.
در حال حاضر، Jayson Semiconductor دارای 4 تجهیزات عمیق UV MOCVD Zhongsheng Optoelectronics است که برای تولید انبوه محصولات اپیتاکسیال برای رفع نیازهای کاربردهای LED UV عمیق مانند استریلیزاسیون پزشکی، کالاهای سفید و تصفیه آب استفاده می شود. Jason Semiconductor گفت که با استفاده از فناوری جدید MOCVD Zhongsheng Optoelectronics و مدلهای پیکربندی چند حفرهای، میتوان بسترهای AlN با کیفیت بالا را که برای تولید انبوه لازم است به دست آورد، در حالی که ظرفیت تولید را به میزان قابل توجهی افزایش داد و هزینههای تولید اپیتاکسی را کاهش داد.
گزارش شده است که علاوه بر Jason Semiconductor، بسیاری از مشتریان داخلی از فناوری جدید MOCVD Zhongsheng Optoelectronics استفاده کرده اند و زیرلایه های AlN با کیفیت بالا و کم هزینه را به دست آورده اند. مزایای خاص عبارتند از: ویژگی های سطح Rq<0.5nm, edge="" cracks="" controlled="" at=""><2mm. zhongsheng="" optoelectronics="" said="" that="" in="" the="" future,="" it="" will="" launch="" new="" solutions="" through="" continuous="" innovation="" to="" meet="" the="" growing="" needs="" of="" deep="" ultraviolet="" led="" technology="" development="" and="" mass="">
همچنین شایان ذکر است که Zhongsheng Optoelectronics به تدریج سرمایه گذاری خود را در زمینه تجهیزات MOCVD نسل سوم نیمه هادی در سال های اخیر گسترش داده است. در سال 2020، تجهیزات ProMaxy® PD Zhongsheng Optoelectronics برای دستگاه های گسسته نیمه هادی GaN نسل سوم وارد مرحله ارزیابی و تأیید بازار شده است. در آگوست همان سال، Zhongsheng Optoelectronics به رهبری Shanghai Pudong Science and Technology Group، سرمایه ای معادل 113 میلیون یوان برای تحقیق و توسعه و تولید تجهیزات پیشرفته برای دستگاه های گسسته نیمه هادی نسل دوم/سوم به دست آورد. .
چه برنامه LED ماوراء بنفش عمیق باشد و چه برنامه نیمه هادی نسل سوم، Zhongsheng Optoelectronics به رسمیت شناخته شده و پشتیبانی بازار سرمایه و سمت کاربرد را به دست آورده است. در آینده، انتظار می رود که سیستم تجهیزات MOCVD مبتنی بر فناوری اصلی خود از طریق تحقیق و توسعه نوآورانه و قابلیت های تامین مالی ارتقا یابد. بهبود تجهیزات MOCVD بومی سازی تجهیزات MOCVD را تقویت می کند.